80% WTi
1. Manteniment d'objectius
Per evitar curtcircuits i arcs provocats per cavitats brutes durant el procés de pulverització, és necessari eliminar periòdicament la matèria de pulverització acumulada al centre i als dos costats de la pista de pulverització. Això també ajuda els usuaris a operar contínuament amb una alta densitat de potència. Realitzar sputtering.
2. Emmagatzematge objectiu
Recomanem que els usuaris emmagatzemin objectius (ja siguin metàl·lics o ceràmics) en envasos al buit. En particular, els objectius de laminació s'han d'emmagatzemar en condicions de buit per evitar que l'oxidació de la capa de laminació afecti la qualitat de la laminació. Pel que fa a l'embalatge de dianes metàl·liques, recomanem que s'envasin almenys en bosses de plàstic netes.
Proveïdor d'objectius de 80% de tungstè
3. Neteja d'objectius
El primer pas és netejar-lo amb un drap suau i sense pelusa sucat amb acetona;
El segon pas és similar al primer pas, utilitza alcohol per netejar;
El tercer pas és netejar amb aigua desionitzada. Després de netejar amb aigua desionitzada, l'objectiu es va col·locar en un forn per assecar-se a 100 graus centígrads durant 30 minuts. Es recomana utilitzar un "drap sense pelusa" per netejar els objectius d'òxid i ceràmica.
El quart pas és rentar l'objectiu amb gas argó d'alta pressió i baixa humitat per eliminar les partícules impures que puguin provocar arcs al sistema de pols.
4. Inspecció de curtcircuit i segellat
Un cop instal·lat l'objectiu, cal inspeccionar tot el càtode per detectar curtcircuits i segellats. Es recomana utilitzar un mesurador de resistència per determinar si hi ha un curtcircuit al càtode. Després de confirmar que no hi ha curtcircuit al càtode, podeu realitzar una comprovació de fuites d'aigua i passar aigua al càtode per determinar si hi ha fuites d'aigua.
Fabricació d'objectius de sputtering 80% de tungstè
5. Embalatge i transport
Tots els objectius s'envasen en bosses de plàstic segellades al buit amb un agent a prova d'humitat. L'embalatge exterior és generalment una caixa de fusta amb una capa anticolisió al seu voltant per protegir l'objectiu i la placa de suport dels danys durant el transport i l'emmagatzematge.
