99,95% W Objectius de pulverització
1. La influència de la temperatura de sinterització
El procés de formació de l'embrió objectiu de tungstè es produeix generalment per pressió isostàtica en fred. Els grans de tungstè creixeran durant el procés de sinterització. El creixement dels grans de tungstè omplirà els buits entre els límits del gra, millorant així la qualitat de l'objectiu de tungstè. Densitat. A mesura que augmenta el nombre de vegades de sinterització, l'augment de la densitat del material objectiu de tungstè disminueix gradualment. El motiu principal és que després de múltiples sinteritzacions, la qualitat de l'objectiu de tungstè no ha canviat gaire. Atès que la majoria dels buits dels límits del gra s'omplen amb cristalls de tungstè, després de cada sinterització, la taxa de canvi de mida global de l'objectiu de tungstè ha canviat. És molt petit, el que resulta en un espai limitat per augmentar la densitat de l'objectiu de tungstè. A mesura que avança la sinterització, els grans de tungstè cultivats omplen els buits, donant lloc a un objectiu més dens amb una mida de partícula més petita.
99,95% Tungstè Titani Sputtering Objectiu
2. La influència del temps de retenció
Sota la mateixa temperatura de sinterització, a mesura que s'allarga el temps de retenció de la sinterització, la densitat de l'objectiu de tungstè es millora corresponentment. A mesura que s'allarga el temps de retenció, augmenta la mida del gra de tungstè i, a mesura que s'allarga el temps de retenció, augmenta la mida del gra de l'objectiu de tungstè. L'augment de la mida del gra s'alenteix gradualment, cosa que demostra que augmentar el temps de retenció també pot millorar el rendiment dels objectius de tungstè.
99,95% WTi
3. Efecte del rodatge sobre el rendiment de l'objectiu
Per augmentar la densitat del material objectiu de tungstè i al mateix temps obtenir l'estructura de processament de l'objectiu de tungstè, el rodatge a temperatura mitjana de l'objectiu de tungstè s'ha de realitzar per sota de la temperatura de recristal·lització. Si la temperatura de rodament del blanc objectiu és alta, l'estructura de fibra del blanc objectiu serà gruixuda i, per contra, l'estructura de fibra del material objectiu estarà bé. Quan la taxa de processament de laminació en calent arriba al 95%. Tot i que els grans originals de sinterització són diferents o s'eliminaran les diferències en l'estructura de la fibra causades per diferents temperatures de laminació, l'estructura interna de l'objectiu formarà una estructura de fibra més uniforme. Per tant, com més gran sigui la velocitat de processament de laminació en calent, millor serà el rendiment de l'objectiu. bo.
