Tungstè Sputtering Target factpry
Mètode de fabricació objectiu
1. Mètode de fosa
El mètode de fosa consisteix a fondre matèries primeres d'aliatge amb una determinada proporció de composició i després abocar la solució d'aliatge fos en un motlle per formar un lingot, que després es mecanitza per formar un objectiu. Els mètodes de fosa generalment requereixen la fusió i la fosa al buit. Els mètodes de fosa comuns inclouen: la fusió per inducció al buit, la fusió d'arc al buit i la fusió per bombardeig d'electrons al buit. Els seus avantatges són que el material objectiu produït té un baix contingut d'impureses, una alta densitat i es pot utilitzar en objectius a gran escala. Producció química; el desavantatge és que si es fonen dos o més metalls amb grans diferències de punt de fusió i densitat, és difícil fer un objectiu d'aliatge amb una composició uniforme mitjançant els mètodes de fosa convencionals.
2. Mètode de la pulvimetal·lúrgia
El mètode de la metal·lúrgia en pols consisteix a fondre matèries primeres d'aliatge amb una determinada proporció d'ingredients, després llançar la solució d'aliatge obtinguda després de la fusió en un lingot, aixafar el lingot de fosa, pressionar estàticament la pols triturada per donar-li forma i després sinteritzar-la a alta temperatura per formar un objectiu. material. L'avantatge del material objectiu fet d'aquesta manera és que la composició és uniforme; el desavantatge és que la densitat és baixa i el contingut d'impureses és alt. Les indústries de metal·lúrgia de pols que s'utilitzen habitualment inclouen el premsat en fred, el premsat en calent al buit i el premsat isostàtic en calent.
Objectius de 80% de tungstè
Objectius de pulverització 80% W
